结果表明，该探测器基于硅和铝两种材料热膨胀系数的差异，利用IC工艺和微机械加工技术设计制作了一种硅／铝／碳纳米管三层微机械悬臂梁红外探测器，其形变可通过梁根部的压敏电桥检测。tt娱乐城

应用了一种新型红外吸收层材料-碳纳米管，涂覆碳纳米管吸热层使响应灵敏度提高近1倍。百家乐论坛

实验探索出了在微机械悬臂梁上涂覆碳纳米管吸热层的工艺方法。盈禾国际

，为提高探测器的红外吸收特性，不同温度下梁的挠度不同，存在双物质效应，建立了其热挠曲理论模型，此种探测器样管的制作研究为开发新型的红外热探测器提供了新的可能。太阳城开户

《光学精密工程》2008年 第4期摘要：研究了一种压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器，实验研究了具有碳纳米管薄膜吸热层的三层微机械悬臂梁红外热探测器对红外辐射的响应规律。博彩网